本報訊 （鐘 云）日前，由江蘇省計量科學研究院（以下簡稱“江蘇省計量院”）申報的“高深寬比微結(jié)構(gòu)標準樣板的制備與溯源研究”獲批立項市場監(jiān)管總局科技計劃項目。

該科研項目致力于服務我國半導體領域內(nèi)自主研發(fā)的高深寬比微結(jié)構(gòu)無損測量儀器在全球市場的技術準入，有助于破解半導體量測設備被國外廠商壟斷的不利局面，推動我國實現(xiàn)半導體產(chǎn)業(yè)自主健康發(fā)展。

該項目面向半導體領域，重點針對MEMS器件、TSV封裝中高深寬比微結(jié)構(gòu)的測量，解決各類型測量儀器設備的線寬、深度參數(shù)尺度無法統(tǒng)一、精度無法溯源問題，開展高深寬比微結(jié)構(gòu)標準樣板的制備和溯源研究。

據(jù)江蘇省計量院相關人員介紹，高深寬比微結(jié)構(gòu)標準樣板將滿足技術方案各異、工作原理不同的高深寬比微溝槽、TSV高深寬比微孔槽無損測量儀器設備的精確校準需求，實現(xiàn)對深度、線寬等關鍵尺寸的科學溯源。

《中國質(zhì)量報》【市場監(jiān)管科技之窗】