Hello,大家好，今天跟大家聊聊EAP，

EAP(Equipment Automation Programming)，又叫設(shè)備自動化程序。

EAP是MES（生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)）系統(tǒng)與機臺設(shè)備之間溝通的橋梁，EAP通過SECS國際標準協(xié)議與機臺設(shè)備之間進行數(shù)據(jù)通訊。

SECS是半導體設(shè)備的一種標準國際通信協(xié)議。EAP就是通過這個標準協(xié)議與機臺設(shè)備之間通信，傳輸數(shù)據(jù)和發(fā)送指令，以此來遠程控制設(shè)備，使其按照預(yù)先定義的流程進行生產(chǎn)加工，同時進行機臺設(shè)備狀態(tài)的監(jiān)控，實現(xiàn)設(shè)備運行的自動化。

EAP程序?qū)崿F(xiàn)了對FAB內(nèi)機臺設(shè)備的實時監(jiān)控，是FAB自動化重要的控制系統(tǒng)。EAP程序與FAB中的機臺設(shè)備緊密相關(guān)，EAP程序的設(shè)計與開發(fā)必須與生產(chǎn)線實際用的機臺相匹配，按照生產(chǎn)流程的需求，區(qū)滿足控制機臺生產(chǎn)的目的。

▌EAP是CIM（Computer Integrated Manufacturing/計算機集成制造）解決方案中最底層的子系統(tǒng)之一，也是FAB中最重要的系統(tǒng)之一。FAB生產(chǎn)過程中，生產(chǎn)數(shù)據(jù)和機臺狀態(tài)數(shù)據(jù)都是通過EAP系統(tǒng)收集，然后傳送給MES和相關(guān)的系統(tǒng)，MES再通過這些數(shù)據(jù)對產(chǎn)品和設(shè)備事件進行跟蹤和監(jiān)控。如果沒有EAP程序，F(xiàn)AB中的CIM也就談不上是生產(chǎn)的自動化。

▌EAP可以減少人為失誤，主要體現(xiàn)在以下：

1. 避免帳料不符
2. 避免跑錯批次
3. 避免選錯配方
4. 檢查配方參數(shù)

▌EAP可以提高生產(chǎn)效率，主要體現(xiàn)在以下：

1. 自動數(shù)據(jù)采集
2. 自動系統(tǒng)過賬
3. 自動獲取物料信息
4. 自動選擇配方
5. 自動物料載入載出
6. 自動數(shù)據(jù)上傳

▌EAP可以改善產(chǎn)品良率，主要體現(xiàn)在以下：

1. 異常時自動將Lot進行Hold
2. 異常時自動將機臺Hold，或改變機臺狀態(tài)
3. 調(diào)整工藝參數(shù)

▌EAP一般和MES之間交互，然后通過通訊協(xié)議與機臺設(shè)備進行交互，示意圖如下所示：

備注：MES（Manufacturing Execution System/生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)）

▌點擊上方“芯小虎”關(guān)注我，分享更多的芯片知識和新聞!

▌如果喜歡，請"點贊" "收藏"?,謝謝